荏原製作所は2021年11月8日、半導体製造プロセス向けに新しい精密チラー「RJ-SA型」を発表した。2022年1月の発売を予定している。 RJ-SA型は、同社独自の小型ポンプSSPD型を使用することで、小型（W✕D✕H…
Written on 11月 9, 2021 at 10:23 AM, by global-admin
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荏原製作所は2020年10月9日、海外グループ会社である独EBARA Precision Machinery Europe（EPME）が、ドレスデンのヴァイックドルフに、EPMEにとって２番目となるドライ真空ポンプのオー…
Written on 10月 12, 2020 at 5:40 PM, by global-admin
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