荏原製作所は2021年11月8日、半導体製造プロセス向けに新しい精密チラー「RJ-SA型」を発表した。2022年1月の発売を予定している。
RJ-SA型は、同社独自の小型ポンプSSPD型を使用することで、小型（W✕D✕H：368✕947✕1,097mm）ながら冷却能力4.0kWの高出力を実現している。冷媒は不燃性・低GWP（Global Warming Potential：地球温暖化係数）（GWP:1380） 「R4484」対応。温度制御範囲は-20℃〜-30℃、温度制御精度±0.1℃となっている。
製造・販売は子会社である荏原冷熱システム株式会社が行う。