荏原製作所の精密・電子カンパニー管下の台湾子会社、台湾荏原精密は9月6日、台湾第2工場の着工式を開催した。投資総額は18億台湾元（約80億1800万円）。2026年第3四半期（7~9月）に完工の見込みとなっている。 台湾…
Written on 9月 25, 2024 at 9:42 AM, by global-admin
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荏原製作所は2021年11月8日、半導体製造プロセス向けに新しい精密チラー「RJ-SA型」を発表した。2022年1月の発売を予定している。 RJ-SA型は、同社独自の小型ポンプSSPD型を使用することで、小型（W✕D✕H…
Written on 11月 9, 2021 at 10:23 AM, by global-admin
Tags: 半導体製造装置, 荏原製作所
荏原製作所は2020年10月9日、海外グループ会社である独EBARA Precision Machinery Europe（EPME）が、ドレスデンのヴァイックドルフに、EPMEにとって２番目となるドライ真空ポンプのオー…
Written on 10月 12, 2020 at 5:40 PM, by global-admin