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Tag Archives: CMP装置

荏原製作所、藤沢事業所新開発棟(V8棟)が竣工

荏原製作所は2025年6月2日、藤沢事業所内に建設していた、精密・電子カンパニーの新開発棟(V8棟)が竣工したことを発表した。CMP装置のほか、ウエーハの外周などを研磨するベベル研磨装置、めっき装置を開発する。稼働開始は…