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ニコン、重ね合わせ精度高める新アライメント装置を開発

ニコンは2025年12月11日、半導体露光装置と組み合わせることにより、「Wafer to Wafer」のボンディング工程などで求められる、高い重ね合わせ精度を実現するアライメントステーションの最新機種「Litho Bo…