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Monthly Archives: 12月 2021

東京エレクトロン、第8世代FPD向けに新プラズマエッチング装置を発表

Written on 12月 14, 2021 at 11:32 AM, by

東京エレクトロンは2021年12月8日、第8世代基板のフラットパネルディスプレイ(FPD)向けに新チャンバーPICP Proを搭載した「Impressio 2400 PICP Pro」の販売開始を発表した。 同装置は第6…

Lam Research、Si深堀用の新型エッチング装置を発表

Written on 12月 14, 2021 at 11:31 AM, by

米Lam Research社は2021年12月7日、TSVやイメージセンサ、各種パワーデバイスシリコン深堀プロセスに対応した新エッチング装置「Syndion GP」を発表した。新製品は同社のDSiE(Deep Si Et…

田中電子工業が台湾・高雄市に工場を新設、高性能Cu(銅)ボンディングワイヤの生産能力を増強

Written on 12月 14, 2021 at 11:29 AM, by

田中電子工業株式会社は、台湾の高雄市に高性能Cu(銅)ボンディングワイヤ(PCC(Palladium Coated Copper)ワイヤ)を製造する工場を新設する。工場稼働は2022年上期を予定しているという。 田中電子…

JX金属、半導体材料、電子機器材料増産に向けて2工場を新設

Written on 12月 14, 2021 at 11:26 AM, by

JX金属は2021年12月8日、半導体用スパッタリングターゲットおよびスマートフォンなどで使用される圧延銅箔の増産のため、茨城県日立市に2工場を建設する計画を発表した。 スパッタリングターゲットの製造を行う日立北新工場(…

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