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CMP用語辞典(英語版)

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★CMPに関わる全ての業種の方々に必須の326用語を厳選し、わかりやすく解説!
★加工技術・装置・洗浄・清浄化技術・計測・評価技術・ デバイス化技術の各分野に関する実用用語を幅広く網羅!
★CMP分野において活躍のProf.Ara Philipossian氏(Univ.of Azizona) による翻訳!
★携帯に便利なサイズ! (170×95mm)

書籍版 U.S.$35.00 / 3,990 円(税込)