日本の半導体露光装置企業であるニコン、キヤノンが2022年第4四半期業績を発表した。ニコンは2023年3月期通期（2022年1月～12月）の見通し、キヤノンは2022年12月期（2022年1月～12月）通期業績を発表した。キヤノンは2023年12月期の見通しも明らかにしている。
両社ともが2023年3月通期、2022年12月期の売上高は前年同期を上回っているが、装置設置の繰延べなどにより当初計画よりも低くなっている。しかし需要自体は堅調であるとしている。キヤノンでは2023年の露光装置需要が拡大できるとしている。

ニコンの、半導体、FPD用露光装置を担当する精機事業の売上高は前年同期比14.9％増の502億円、営業利益は42.4％増の84億円となった。半導体露光装置の売上台数は前年度同期から2台増の10台、うち新品装置は前年度の3台から6台に倍増している。光源別ではi線などが5台、KrFが1台、ArFが2台、ArF液浸が2台となった。
2023年3月期通期の半導体用露光装置売上台数見通しは、新品装置28台、中古装置18台、合計46台としている。前年度から11台増となる。特にArF液浸が前年から5台増となる見通し。一方、2023年初めの見通しと比較すると、i線などで5台、ArF、ArF液浸が3台ずつ減少している。半導体メーカが設備投資計画を見直したことにより、導入予定が繰延されたためである。2023年度については、半導体市況の回復に伴い、繰延分の導入、新規需要の創出が期待できることから、前年度比成長が期待できる。

キヤノンの露光装置を中心とする光学機器事業（FPD装置含む）の2022年12月期第4四半期売上高（2022年10月～12月）は前年度同期比13.2％増の771億円となった。販売台数は57台で、前年度同期から6台増となった。2022年度第4四半期も後工程を含む幅広い分野、様々な地域で実績を伸ばしている。
2022年12月期通期の光学機器売上高は前年度比11.3％増の2,404億円、半導体露光装置の台数は同36台増の176台となった。光源別内訳は、KrFが前年度比13台増の51台、i線装置が同23台増の125台となった。
同社では、世界各地で半導体工場の新設が進められており、露光装置市場は2023年も拡大すると見込んでいる。幅広い顧客層からの旺盛な引き合いがあり、それにこたえるため生産設備の拡大、要員の確保を進めている。これにより2023年は前年より19台多い、195台の販売を計画している。このうちKrFが同8台増の59台、i線が同11台増の136台を見込んでいる。