キヤノンは、2023年3月13日、同社の「FPA-5510iX」の後継として、i線露光装置「FPA-5550iXを発表した。同製品では、50×50mmの広画角での露光が可能になったことによって、フルサイズCMOSセンサーや次世代XR用ディスプレイに求められる高画角を一括で高精細に露光できることが特徴とされている。

また、アライメントマーク検出においては、「明視野検出」に加えて、散乱光や回析光を測定する「暗視野検出」機能を新たに追加、更に選択可能な波長領域の拡大やエリアセンサーを採用し、多画素で測定することで、低コントラストのアライメントマークも検出可能となっている。