国内半導体製造装置大手のSamcoは2022年10月6日、最先端量子デバイスの研究開発や、脱炭素を実現する炭化ケイ素（SiC）や窒化ガリウム（GaN）を材料とした次世代パワー半導体デバイスのゲート酸化膜形成用の新型プラズ…
Written on 10月 17, 2022 at 7:21 PM, by global-admin
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