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Samco、次世代デバイス研究開発用新ALD装置を発売

国内半導体製造装置大手のSamcoは2022年10月6日、最先端量子デバイスの研究開発や、脱炭素を実現する炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)を材料とした次世代パワー半導体デバイスのゲート酸化膜形成用の新型プラズ…