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Tag Archives: PVD装置

AMAT、配線抵抗低減を実現する新成膜装置を発表

米Applied Materials(AMAT)社は2022年5月26日、配線抵抗を大幅に低減させる新装置「Endura Ioniq PVD」を発表した。 現在の配線は、絶縁材料のトレンチとビア内に導電材料を埋め込んで形…