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Tag Archives: ArF液浸

ニコン、新型のArF液浸露光装置を2024年2月に発売へ

  露光装置大手のニコンは、2013年に発売し、10年の販売実績を持った「NSR-S622D」の後継機となる「NSR-S625E」を2024年2月より発売することを発表した。スループットおよび装置の稼働安定性を…