露光装置大手のニコンは、2013年に発売し、10年の販売実績を持った「NSR-S622D」の後継機となる「NSR-S625E」を2024年2月より発売することを発表した。スループットおよび装置の稼働安定性を向上させたことで、ニコンの半導体露光装置史上最高の生産性を実現したとしており、「NSR-S622D」と比較してスループットは1.3倍になっている。また、稼働安定性を大幅改善し、加えてiAS（inline Alignment Station：露光装置のスループットを落とすことなく、高速・高精度にウェハを計測し、グリッドエラーの補正を可能にするシステム）を搭載している。

【スペック】

解像度 ≦ 38nm
開口数 1.35
光源 ArFエキシマレーザー（波長：193nm）
縮小倍率 1.4
最大露光領域 26mm×33mm
重ね合わせ精度 SMO（同一号機間の重ね合わせ精度）：≦1.7 nm、MMO（同一機種間の重ね合わせ精度）：≦2.5 nm
スループット：≧280 wafer/hour（96 shot）