東京エレクトロン デバイス株式会社は、化合物半導体ウエハ表面の欠陥を高速、高感度で検出するマクロ検査装置「RAYSENS」を開発し、6月9日より販売を開始した。 この検査装置は、5Gをはじめとする次世代通信インフラ、自動…
Written on 6月 16, 2020 at 11:32 AM, by global-admin
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Tags: 化合物半導体, 半導体検査装置, 新製品
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