東京エレクトロン デバイス株式会社は、化合物半導体ウエハ表面の欠陥を高速、高感度で検出するマクロ検査装置「RAYSENS」を開発し、6月9日より販売を開始した。

この検査装置は、5Gをはじめとする次世代通信インフラ、自動運転やEVといった次世代モビリティ分野で今後需要が高まると予測される化合物半導体の表面欠陥を、従来はウエハが半透明であるため、対応検査機が少なく、検査員による目視検査や検査機を使用した抜き取り検査で対応していたものを、「RAYSENS」は超低ノイズマクロ光学センサーと専用照明を対象ワークに合わせて最適な光学系を構成することで、透明や半透明なウエハの微小変化を高感度に捉えることができ、独自の検出アルゴリズムによって、欠陥を高速かつ高精度に検出することが可能。

これにより、従来は人手で行っているウエハの目視検査や工程内の抜き取り検査の自動化によって、検査工数の削減や、全数検査による化合物半導体ウエハの品質安定化を実現出来る、とした。