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九州大学、EUVの照射・解析評価サービスを提供する新会社を設立

九州大学は7月26日、先端半導体に不可欠な極端紫外線(EUV)の照射と解析評価サービスを提供する新会社「EUVフォトン」を7月29日付で設立すると発表した。各企業が先端半導体向けの新素材などを開発する際、EUVの照射~解…