田中貴金属工業は2022年6月23日、液体ルテニウム（Ru）プリカーサ「TRuST」を利用したRuの2段階成膜プロセスを確立したことを発表した。 「TRuST」は酸素と水素の双方に良好な反応性を持ち、高品位なルテニウム膜…
Written on 6月 28, 2022 at 9:51 AM, by global-admin
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