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Tag Archives: スリットコータ

SCREEN FT、高密度パッケージ向け塗布乾燥装置の新モデルを開発

SCREENファインテックソリューションズ(FT)は2025年12月10日、半導体先端パッケージ専用の塗布乾燥装置「Lemotia」において、300mm×300mm、310mm×310mmサイズのパネル基板に対応した新モ…