Tag Archives: ウエハ欠陥検査

豊田通商は、関西学院大学や、株式会社山梨技術工房と共に、SiC（炭化ケイ素）ウエハの製造プロセスで生じる結晶の歪み（加工歪み層）を検査する技術を共同で開発した。この技術は、関西学院大学と豊田通商が2017年から共同で進め…