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関西学院大学と豊田通商、6インチSiCの欠陥をゼロにするプロセスを発表

関西学院大学 (理工学部 金子忠昭教授)と豊田通商は、SiC基板の欠陥{結晶の転位の一種である基底面転位(Basal Plane Dislocation―BPD)}を無害化する表面ナノ制御プロセス技術「Dynamic A…