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Tag Archives: 東京エレクトロン

東京エレクトロン、新たな枚葉式成膜装置とEUV露光による微細工程向けガスクラスタービーム装置を発表

東京エレクトロンは7月8日、新型の枚葉式成膜装置とEUV露光工程向けガスクラスタービーム装置を発表した。製品ラインナップを大きく拡充し、多様化する顧客のニーズに対応する。 新型の枚葉式成膜装置としては、「Episode1…

東京エレクトロン・フジキン・TMEICの3社、成膜プロセスにおけるオゾンガス濃度を管理する新型モニターを開発

東京エレクトロン、フジキン、TMEICの3社は5月31日、半導体製造工程の成膜プロセスにおけるオゾンガス濃度を管理する新型モニターを開発したと発表した。 成膜プロセスでは、各種酸化膜形成等にオゾンガスが使用されており、オ…

東京エレクトロン、2023年度通期決算を発表、売上高は前年比17.1%減に

東京エレクトロンは5月10日、2023年度通期の決算を発表した。これによると、売上高は前年比17.1%減の1兆8,305億円、営業利益は同26.1%減の4,562億円、純利益は同22.8%減の3,639億円と落ち込んだ。…

東京エレクトロン、2024年3月期第2四半期決算を発表。売上は落ち込むも、通期予想は上方修正へ

国内半導体製造装置最大手の東京エレクトロンは2023年11月10日、2024年3月期第2四半期の決算を発表した。 4〜9月の連結業績は、売上高が前年同期比30.7%減の8,195億円、営業利益は前年同期比49.0%減の1…

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