東京エレクトロンの韓国法人である東京エレクトロンコリアは10月17日、ソウル近郊の京畿道華城市に半導体製造プロセスの主要技術の研究開発（R&D）施設である「TEL Technology Center Korea-2」を竣工したと発表した。同社の韓国でのR&D施設としては3番目となる。

同センターは既存の華城事務所に隣接し、延床面積は約3万9,200平方メートルで、先端技術の研究開発を行う。特に、オーダーメイド型の研究開発が必要な分野で顧客のウエーハの加工や製造工程の技術開発を担う。また、エッチング、蒸着、洗浄等の様々な工程のモジュール化開発を推進し、改善の必要な部品に対する評価作業も行う。加えて、顧客と大学がともに参加し、3者による協力研究も推進される予定である。今後は1次搬入した装置の設置を迅速に完了させ、顧客の開発評価を支援し、顧客との持続的な協業を通して研究開発設備の拡充も図っていく。

同日開催された竣工式には東京エレクトロンの河合利樹社長のほか、サムスン電子の全永鉉デバイスソリューション部門長をはじめとする関係企業の200名余りが出席した。

竣工式で東京エレクトロンコリアの元済亨社長は「我々がいくら良い装置を作っても顧客の生産プロセスに合わなければ意味がない」とし、「顧客と近い距離で顧客のニーズと装置の機能を合致させ、迅速で優秀な技術開発及びサービス支援で半導体産業の基盤技術を強化していく。そうした意味で韓国のR&D拠点は高い価値を持っている」と大きな期待を強調した。