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Tag Archives: ドライレジスト

製造装置のLam ResearchとメモリのSK-Hynix、ドライレジスト技術開発で提携

米製造装置大手のLam Research社と韓国のメモリ製造大手SK-hynix社は2022年6月14日、SK-hynixの先端DRAM製造における2つのキープロセス開発のためのツールとして、Lamのドライレジスト製造技…