コーティング

お客様のご要望のフォトレジスト（感光剤）、有機膜材料（PI、PBO等）を塗布します。
ご指定の膜厚にて塗布処理致します。
ご指定の塗布材料にも対応可能です。

レジストコーティング後ウエハ

対応スペック

対応基板	2インチ〜8インチSi、300mmSi、大型基板、SiC、GaN、ガラスも対応可能
塗布材料	レジスト、ポリイミド、樹脂、フィルム材
塗布方法	スピンコーター、スプレーコーター、カーテンコート、ロールコート等

その他ナノインプリント試作にも対応致します。

ナノインプリント樹脂パターン