欠陥が少なく、安定した成膜を実施することが可能です。

対応スペック

CVDの対応スペック画像
対応基板 Siウエハ,各種ガラス基板,Al系基板 (Al2O3,AlN) Si系基板（SiC等）
対応サイズ 2インチ〜12インチ
膜厚 膜種、基板によって異なります。ご相談下さい。
膜種
LP-CVD LP-SiO2, LP-SiN, Poli-Si, Amorphous-Si, HTO, LP-TEOS
PE-CVD PE-SiO2, PE-TEOS, HDP, LOW-K=(BD,BDⅱ）
プラズマCVD SiO2, SiON, DLC(Diamond-Like-Carbon）