東京エレクトロンは2023年2月9日、2023年3月期第四半期（2022年10月～12月）業績を発表した。同期の全社売上高は4,678億円で、前年度同期比7.6％減、前四半期比34.0％減となった。半導体製造装置（SPE）、FPD製造装置（FPD）ともに大幅な減少となった。
売上減にともない利益も低下している。全社営業利益は1,147億円で、前年度同期比26.5％減、前四半期からは半減（50.7%減）。純利益は855億円で、前年度同期比22.2％減、前四半期の半分以下（52.3％減）となった。

SPE事業の売上高は4,558億円で、前年度同期比6.1％減、前四半期比33.4％減。営業利益は1,147億円で、前年度同期比26.5％減、前四半期比50.7%減となった。フィールドソリューションの売上高は1,150億円となった。
SPE事業の売上高構成比率は日本が10.5％、北米12.7％、欧州9.7％、韓国16.4％、台湾24.0％、中国22.4％、アジア・その他地域は4.6％となった。日本、北米、中国が前四半期比で46.7％減、46.1％減、39.1％減と大きく低減した。
アプリケーション別売上高構成比率はDRAMが15％、不揮発メモリ16％、ロジック／ファンドリが69％となった。

SPE部門の新規装置の2023年3月期第4四半期（2023年1月～3月）売上高は4,050億円。前四半期比17.8％増を見込んでいる。
SPE事業の2022年（暦年）売上高は前年比22％増の2兆1,611億円を見込んでる。
ウェーハプロセス装置市場は2023年（暦年）後半から徐々に回復し、通年では約800億米ドルに拡散すると予想している。