東京エレクトロンは2022年5月12日、製造子会社である東京エレクトロン宮城の本社工場（宮城県) に開発棟を新設することを発表した。新棟は鉄骨・地上3階建て、延床面積4万6000㎡となる予定。建設費用は約470億円を計画している。2023年春に着工し、2025年春に竣工することを予定している。

東京エレクトロン宮城ではプラズマエッチング装置の開発・製造を行っており、新開発棟の建設によって、技術開発力をさらに強化し、拡大する市場と多様化する技術ニーズに応えていくとしている。