CMPスラリー世界2位の、昭和電工マテリアルズは、2022年11月24日、CMPスラリー生産の主要拠点である茨城県の山崎事業所において、約99億円を投じてセリアスラリーの生産能力増強を計画しているが、この事が茨城県より評価され、県の次世代産業集積・カーボンニュートラル強化プロジェクト事業補助金の対象事業に認定された事を発表した。補助金の金額は4億9,000万円。今後、同社では、生産拠点と開発拠点の距離を縮めることによって、次世代デバイス向けの製品の迅速な立ち上げを目指していくという。

今回の茨城県の「次世代産業集積・カーボンニュートラル強化プロジェクト事業補助金」はキヤノンも対象になっており、キヤノンは阿見事業所で20億円を投じる先端半導体露光装置の開発・生産ラインの増設に対して1億5,000万円を補助する。