ローツェは2022年9月26日、中国・上海に建設を進めていた新工場が完成したことを発表した。新工場は地上2階建て、延べ床面積は約6,600㎡。2022年10月の稼働開始を予定しており、フル稼働時には従来の中国工場の約8倍の生産能力を見込んでいる。製造設備のほか、会議室とオフィスも備えている。

また新工場に合わせて中国内での製造を事業とする現地子会社RORZE CREATECH SEMICONDUCTOR EQUIPMENT CO., LTDを設立した（中国子会社の100％子会社）。ウェーハ搬送装置や、細胞培養装置などの中国での製造を担う。既存の子会社とあわせた従業員数は現在150人ほどだが、工場のフル稼働に向けて100人を増員するとしている。