東京エレクトロンは2022年8月8日、2023年3月期第1四半期（2022年4月〜6月）業績を発表した。全社業績は売上高が前年度同期比4.8％増の4,736億5,400万円、営業利益は同17.1％減の1,175億1,900万円、純利益は同12.2％減の880億9,500万円となった。
半導体製造装置事業（SPE）の売上高は前年度比6.0％増の4,640億300万円、営業利益は同12.6％減の1,335億円となった。ロジック／ファンドリ向けが活発な設備投資に支えられ、売り上げを伸ばした。メモリ向け投資も堅調に推移した。売上高構成比率は、ロジック／ファンドリ向けが64％、不揮発メモリが20％、DRAMが16％となった。フィールドソリューション売上高は同15.4％増の1,072億円となった。
地域別構成比率は、日本が9％、北米15％、欧州13％、韓国18％、台湾21％、中国20％、東南アジア・その他が4％。
FPD製造装置(FPD）の売上高は同31.8％減の96億1,400万円、営業損益は6億1,500万円の損失となった。
2023年3月期通期見通しは、売上高が前年度比17.3％増の2兆3,500億円、営業利益は同19.5％増の7,160億円、純利益は同19.7％増の5,230億円としている。事業別はSPEが18.1％増の2兆2,950億円、PFDが同8.1％減の550億円としている。