キヤノンは2022年10月6日、宇都宮事業所に露光装置などの半導体製造装置のための新工場を建設することを発表した。新工場は敷地面積約7万m²、投資額は建設費約380億円を含めて500億円を上回る規模となる見込み。

スケジュールは2023年下期に着工し、2025年上期の稼働開始を予定している。生産能力は現在から倍増となる見込みを立てている。

露光装置市場では、ArF液浸やEUVといった最先端装置の引き合いも非常に強いが、レガシイプロセス向けの装置需要も引き続き強い上、近年では後工程でもパッケージ基板向けに露光装置が使われており、キヤノンでもPLP向けi線ステッパーを販売している。

また、キヤノンでは、大日本印刷やキオクシアと共にナノインプリントの実用化に向けた共同研究を行っており、今後はこの分野の装置製造でも利用されることを見込んでいる。
同社では2022年での露光装置販売台数は180台を見込んでおり、直近10年では4倍増と予想している。