東京エレクトロンは2020年7月28日、2020年度第1四半期（2020年4月〜6月）業績を発表した。全社業績は、売上高が前年度同期比45.5％増の3,148億2,300万円、営業利益は同73.6％増の738億4,900万円、純利益は同77.0％増の564億5,200万円となった。
半導体製造装置事業の売上高は同53.3％増の3,037億7,200万円、営業利益は同80.0％増の837億7,600万円となった。メモリ、ロジック／ファンドリともに堅調で、大幅な増収となった。半導体製造装置売上高のアプリケーション別構成比率はDRAM 26％、不揮発メモリ 25％、ロジックファンドリ 21％、ロジック＆その他が28％となった。
FPD製造装置は、同39.6％減の110億1,300万円、営業利益は同85.7％減の5億5,200万円となった。しかし、テレビ用大型液晶パネル向けの設備投資は継続されている。また、モバイル用中小型有機ELパネル向けの設備投資は今後に向け回復基調に転じるものと見込んでいる。
フィールドソリューション部門の売上高は同20％増の837億円となった。