TSMCは、5nmプロセスの生産能力をこれまでの1か月あたり12万枚から、25％増加させ、15万枚に増加する予定である。TSMCの2021年の財務レポートによると、5nmプロセスが19％を占め、 31％を占める7nmプロセスに次ぐ2番目に大きな収益源となっている。これによって5nmの出荷が大幅に増加したことによって、7nmプロセスを超え、TSMC最大の収益源になることが予測されている。

また、TSMCは4nmプロセスの生産能力を確保するために、NVIDIAなどの主要顧客から、巨額の前払い金も受け取っているとされている。

一方、現在試作を進めていると見られる同社最先端の3nmプロセスは、大きく「N3」、「N3B」、N3の改良版である「N3E」と分けることができる。 「N3E」は2023年から生産を始める計画である。今年下半期から「N3B」の生産を始めるとされており、生産能力は1か月あたり4万〜5万枚と予想されている。

TSMCの2020年、2021年プロセス売上内訳