台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing（TSMC）社は2023年1月18日、優秀な製造装置、材料、サービスのサプライヤに贈るTSMC Excellent Performance Awardに関して、2022年の表彰企業を発表した。受賞企業は、技術面での協力、材料開発、量産に対するサポート、施設建設管理、品質管理など幅広い分野に及んでいる。
表彰企業（18社）と表彰内容は以下の通り。（社名アルファベット順）

米Applied Materials社-ウェーハプロセス装置：優れた技術協力
オランダASM International-ウェーハプロセス装置：優れた生産サポート
オランダASML Holding社 -高度な技術開発面での協力
台湾DACIN Construction社 -新工場建設でのガス、薬液管理設備面での協力
台湾eChem Solutions社 – フォトレジストなどリソグラフィ関連材料における優れた開発と生産サポート
瑞Georg Fischer社 – 新工場でのガス配管、薬液供給設備の施設面での協力
JSR -フォトレジストなど：リソグラフィ向け先端材料の開発・製造
米KLA社 – 検査・測定装置：プロセス制御面での優良な協力、サポート
Kokusai Electric – 熱処理装置：優秀な生産サポート
米Lam Research社 – エッチング装置ほか：優秀な技術サポート
台湾Marketech International社 – 優秀なガス、薬液設備の構築
パNova社 – 検査測定機器、生産サポート
米Onto Innovation社 – 先端分野の検査・測定装置による技術協力
信越半導体 – 高性能シリコンウェーハの開発、製造、デバイス製造サポート
SUMCO – 高性能シリコンウェーハの開発、製造、デバイス製造サポート
住友重機械イオンテクノロジー -イオン注入装置：優秀な生産サポート
トクヤマ – 高品質な化学材料の供給・サポート
東京エレクトロン – ウェーハプロセス装置：優秀な技術サポート