オランダの露光装置世界最大手 ASML Holdings社は2022年1月19日、2021年第4四半期（2021年10月〜12月）および2021年通期の業績を発表した。
2021年第4四半期の売上高は49億8,800万ユーロで、前年度同期比17.2％増、前期比4.9％減となった。地域別構成比率は台湾51％、韓国27％、中国22％。応用分野別ではロジック73％、メモリ2％。光源別売上台数と売上高構成比率（％）は、i線が11台で1％、KrFが35台で10％、ArFドライが5台で3％、ArF液浸が20台で35％、EUVが11台で46％となった。このほか、検査・測定装置が売上高の5％を占めている。新品装置の販売台数は182台で、中古装置は9台となった。
受注額は71億ユーロで、その中にはNA=0.33のEUVシステムの26億ユーロ分、NA＝0.55のシステム1台が含まれる。
営業利益は20億3,100万ユーロで、前年度同期比35.0％増、前期比5.8％増。純利益は17億7,400万ユーロで、前年度同期比31.3％増、前期比2.0％増となった。
2021年通年業績は、売上高が前年度比33.1％増の186億1,100万ユーロ、営業利益は同66.6％増の67億5,000万ユーロ、純利益は同65.5％増の58億8,300万ユーロとなった。
地域別比率は台湾44％、韓国35％、中国16％、米国5％、日本1％。用途別ではロジックが70％、メモリが30％。
光源別売上台数と売上高構成比率（％）は、i線が33台で1％、KrFが131台で10％、ArFドライが22台で3％、ArF液浸が81台で36％、EUVが42台で46％となった。このほか、検査・測定装置が売上高の4％を占めている。
2022年第1四半期は売上高33億ユーロ〜35億ユーロを予想している。既存設備へのサービス事業の売上高12億ユーロを含んでいる。また、約20億ユーロの前四半期からのシフト分は含まれていない。
2022年通期では、前期比20％増を見込んでいる。