東京エレクトロンは2020年6月18日、4月30日に行われた2020年3月期決算発表時に公表を控えていた2021年3月期の業績見通しを公表した。決算発表時以降、新型コロナウィルスの影響を精査、数字をまとめた。
2021年第2四半期（累積）業績予想は売上高は前年同期21.9％増の6,200億円、営業利益は同24.0％増の1,270億円、純利益は同20.7％増の950億円へ拡大がを見込んでいる。
2021年3月期通期の業績見通しは、売上高が前年度比13.5％増の1兆2,800億円、営業利益は同15.9％増の2,750億円、純利益は同10.9％増の2,050億円としている。