ロームは2022年2月25日、同社が提案した「8インチウエハを利用した次世代SiC MOSFET開発事業」が、、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）が公募していた「グリーンイノベーション基金事業／次世代デジタルインフラの構築」プロジェクトの研究開発項目の一つである「次世代パワー半導体デバイス製造技術開発」の研究テーマとして採択されたことを発表した。
「グリーンイノベーション基金」は、2020年12月25日に経済産業省が関係省庁と策定した「2050年カーボンニュートラルに伴うグリーン成長戦略」の中で「経済と環境の好循環」を作り出すために組成された基金。
「次世代デジタルインフラの構築」プロジェクトは、カーボンニュートラル社会の実現に不可欠なデジタルインフラの省エネ化・高性能化に向けた研究開発・社会実装を進めることを目的としており、本事業では、次世代パワー半導体の製造技術を高めることで、電動車や産業機器をはじめとする幅広い機器・設備への普及促進を目指している。
シリコンウエハ上にSiC薄膜をエピタキシャル成長させた高品質ウエハの開発と量産化技術の確立、その高品質ウエハを利用して、現在立ち上げを進めているローム・アポロ筑後工場の8インチSiC専用プロセスラインで研究開発及び量産化を行う。