東京エレクトロンは2025年4月24日、宮城県大和町の拠点(東京エレクトロン宮城)に2023年6月から建設していた新開発棟が完成したと発表した。地上3階建てで延べ床面積は約4万6,000平方メートル。建設費用は約520億円を投入した。

同社は宮城県大和町の拠点で主にエッチング装置を開発・製造している。同社の製品群には1台に最大12基のチャンバーを備えた大型エッチング装置もあり、新開発棟ではこうした大型装置を使った技術開発や評価を行うとみられる。

新開発棟では2階に半導体製造装置を、1階にポンプや電源、チラーなどを設置。既存の第1開発棟、第2開発棟と異なり、2層構造を取り入れたことで、より大型の装置が設置しやすくなった。新開発棟では将来的に約300人が開発業務に取り組む予定だ。

東京エレクトロン宮城の神原弘光社長は新開発棟の稼働により、「現行の2倍以上のアウトプット（開発効率）を目指す」と意気込んだ。同時に、「開発のスピードが加速していくので、大学などとの連携が今後いっそう進められると思う」とし、今後の共同研究の可能性についても言及した。

新開発棟は2025年9月頃の稼働を予定する。なお、同社は同地に新生産棟も建設することを決定しており、2025年6月に着工予定。建設費用は約1,040億円を見込み、2027年の完成を目指すとしている