韓国・サムスン電子の子会社で半導体製造装置を手掛けるSEMESは6月24日、それまで全て輸入に頼っていたフッ化アルゴンイマージョン（ArF-i）フォトプロセス用トラック装置「オメガプライム」を韓国内で初めて量産化したと発表した。同装置の量産1号機は昨年に出荷済みで、今年に入り、2号機の生産に取り掛かっており、本格的な量産段階に入ったとのことである。

フォトプロセス用トラック装置はコータ/デベロッパとも呼ばれ、ウエハにパターン形成をするためにフォトレジストを塗布し、現像を行う装置。ArF-i向けコータ/デベロッパは東京エレクトロンが約9割のシェアを誇り、事実上の独占状態になっている。SEMESはこれまでにフッ化クリプトン（KrF）コータ/デベロッパを生産しているが、光源の波長の線幅が短くなった高性能露光機に対応するためにはArF-iコータ/デベロッパが必要であった。

同装置には高精製、高生産性、高精密度が要求される。同社はコーティング、現象プロセスユニットの調整偏差をなくすため、ロボットによる位置調整、ベーク温度セッティング、ノズル調整等の自動化システムを開発し、適用した。そのほか、ビジョン監視機能システム、ベーク自動補正等の技術も搭載している。

同社のチェ・キリョン最高技術責任者（CTO）は、「半導体の核心工程の装置であるオメガプライムの開発により、今後の輸入代替効果が大きいものと予想される」と述べる。同社の親会社であるサムスン電子はこれまで、同装置を購入するために年間数千億ウォンを投資していたことが知られており、国産化による代替効果は非常に大きいものと見られている。

チェCTOはまた、「今後、高付加価値中心の独創的かつ差別化された装置をリリースし、技術革新企業に生まれ変わっていく」と今後の更なる飛躍に向けて自信を示した。