オランダASML Holdings社は2021年8月20日、米カリフォルニア州のシリコンバレーの新しい研究開発（R＆D）施設をオープンした。建設面積は21万2,500ft²で、クラス1000のクリーンルーム（面積2万4,000ft²）を備えている。ハードウェア、ソフトウェアからサービスまで同社のリソグラフィ事業ポートフォリオ全体の研究開発を行う。
同社の高度な計算技術を応用してリソグラフィプロセス全体のシミュレーションを可能にするコンピュテーショナル・リソグラフィ（Computational Lithography）、EBを利用した評価計測技術を新施設に導入、IC設計、フォトマスク、検査・評価技術といった関連分野について総合的な研究開発を進めることにより、最先端デバイスの製造分野での生産性、歩留りの向上を図る。
また、Brion、HMIというEB関連2製品ラインの開発を新施設に統合、効率化を図っており、マルチビームの新製品の立ち上げを加速する。
同社では新施設を含めてシリコンバレーにおいてすでに875名が働いているが、2022年中には20％を増員し、1,000名以上の人員を集約する。