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アドバンテスト、EUVマスク欠陥レビューに対応した新DR-SEMを発売

テスタ世界最大手のアドバンテストは2022年12月1日、DR-SEM(Defect review-Scanning Electron Microscope)の新製品「E5620」の販売を開始した。DR-SEMはマスク検査…