テスタ世界最大手のアドバンテストは2022年12月1日、DR-SEM（Defect review-Scanning Electron Microscope）の新製品「E5620」の販売を開始した。DR-SEMはマスク検査システムからインポートした欠陥座標の位置データをもとに、欠陥の内容を自動的に画像化するシステム。
E5620は安定性の高いイメージキャプチャ技術を実装し、高精度・高スループット欠陥レビューを実現する。従来製品から多くの改善が施されている。空間分解能を高め、より微細な欠陥について高安定・全自動で画像取得を実現している。オプションとして元素分析機能、後方散乱電子分析機能の搭載が可能となっている。