Tag Archives: 洗浄

北海道大学低温科学研究所の木村勇気准教授らの研究Grと、SCREENホールディングスは、半導体洗浄時におけるナノ構造物の倒壊挙動を明らかにしたことを発表した。 これまで、半導体洗浄時のナノ構造物の倒壊は液体の表面張力によ…