東京エレクトロンは、2023年5月10日、2022年度(2023年3月期）の第4四半期（2023年1～3月）業績と通期（2022年4月～2023年3月）業績を発表した。
第4四半期の全社売上高は5,582億円で、前年度同期比1.2％減、前四半期比19.3％増となった。半導体製造装置（SPE）事業の売上高は5,433億円で、前年度同期比1.7％減、前四半期比18.4％増となった。

全社利益は営業利益が1,527億円で前年度同期比9.4％減、前四半期比33.1％増。純利益は1,186億円で、前年度同期比6.5％減、前四半期比38.7％増となった。
SPEの新規装置売上高（4,312億円）のアプリケーション別構成比率はロジック/ファンドリ/その他が74％、不揮発メモリが15％、DRAMが11％。フィールドソリューション売上高は1,120億円となった。
地域別の売上高は、日本が10.6％、北米20.3％、欧州6.3％、韓国19.3％、台湾14.6％、中国24.1％、東南アジア・その他が4.8％となっている。製造装置の輸出規制によって売上の減少が注目される中国市場は、10〜12月比で285億円増加したことから、現時点では影響はないと見られる。

2023年3月期通期業績は、売上高が前年度比10.2%増の2兆2,090億円、営業利益は同3.1％増の6,177億円、純利益は同7.9％増の4,715億円となった。
SPE事業は売上高が同10.9％増の2兆1,552億円。営業利益は同4.3％増の6,963億円。
新規装置売上高は同12.9％増の1兆6,927億円。製品別構成比率は、コータ/デベロッパ26％、エッチング装置34％、成膜装置21％、洗浄装置12％、ウェーハプローバ5％、その他2％。前年度と比較すると、エッチング装置が比率を落とし、高額なEUV対応装置が拡大したコータ/デベロッパ、用途が広がる洗浄装置が比率を拡大している。
アプリケーション別構成比率はロジック/ファンドリ/その他向けが66％、不揮発メモリ向けが20％、DRAM向けが14％となっている。ロジック、ファウンドリでは、旺盛な投資を背景に売上を大幅に伸ばした。一方メモリでは顧客の在庫調整に伴い、構成比が減少した。
また、フィールドソリューション事業売上高は同4.0％増の4,740億円となった。

2024年度3月期の予想は全社売上高が同23.0％減の1兆7,000億円、営業利益は同36.4％減の3,930億円、純利益は同36.4％減の3,000億円としている。SPEの新規装置売上高は同25.4％減の1兆2,630億円。
設備投資に関しては、熊本、宮城の新工場建設を中心に1,240億円という積極投資を計画している。