キヤノンは2023年2月21日、数百点におよぶウェーハ上のリソグラフィ用アライメントマークを一括計測できる新装置「MS-001」を発売した。露光装置に導入前に一括計測することで、露光装置内でのアライメント計測負荷を軽減し、生産性を向上させることができる。

新装置は、エリアセンサを採用したアライメントスコープを搭載、多画素計測による低ノイズを実現することで、さまざまなアライメントマークの計測を可能にしている。また、新たに開発したアライメントスコープ用の光源を採用することで、半導体露光装置内での計測よりも1.5倍の波長域を確保、ユーザの任意の波長で高緯度なアライメント計測が可能となっている。

さらに、ソリューションプラットフォーム「Lithography Plus」（2022年9月発売）を導入することで、「Lithography Plus」に半導体露光装置や「MS-001」の稼働状況に関する情報を集めることができるようにしている。これにより半導体デバイスの製造プロセスにおける「MS-001」が取得している計測データと「Lithography Plus」に集めた情報を照合してモニタリングすることで、ウェーハ上のアライメント情報の変化を検出し、半導体露光装置での自動補正を可能としている。