経済産業省は、半導体製造装置の輸出規制の対象となる装置23品目を発表した。西村経済産業大臣は「影響は少ない」と会見で述べたが、中国における先端デバイス向け市場を取り込むことができず、将来的な製造装置産業の成長には確実に影響が出ると見られている。

レーザーテックのEUVマスク用検査装置、東京エレクトロンのコータ/デベロッパ、エッチング装置、洗浄/ウェット処理装置、SCREENの枚葉式洗浄装置、KOKUSAI ELECTRICのアニール装置、アルバックのスパッタリング装置、日立ハイテクのエッチング装置、そしてニコンのArF液浸露光装置、唯一のEUV露光装置メーカーである、ASMLとライセンス契約を行って製造を行う三井化学のEUV用ペリクルとその製造装置等が今回の輸出規制の対象として含まれる。

なお、今回の輸出規制は中国を対象としたものでは無いと表向きではされており、23品目は友好国など42カ国・地域向けを除いて個別の許可が必要になり、中国への輸出はハードルが高くなる。