住友金属鉱山は2022年7月22日、100%子会社であるサイコックスが8インチ貼り合せSiC 基板開発ラインを新設することを発表した。ライン新設により、2025年には既存の6インチ貼り合わせSiC基板量産実証ラインと合わせて、月産1万枚(6インチ換算)の能力を目指す。
サイコックスが製造販売する貼り合せSiC基板「SiCkrest」は、独自の接合技術を応用してウエハを2層化することで、性能面とコスト面を両立させている。低抵抗多結晶SiC支持基板の上に高品質な単結晶を薄く貼り合せることによって、単結晶SiCの特性を維持しつつ、基板全体の低抵抗化、高強度化を実現している。また、希少で高価な単結晶基板1枚から50枚以上の貼り合せ基板を製造可能なため、急速に拡大するであろうSiC 基板需要に柔軟に対応できる。
Sicoxでは2017年から6インチSiCkrestの量産実証ライン構築を進め、一部顧客への販売も行っている。今回の8インチ開発ライン導入により、大型基板への要望に早期に対応できるようになる。