東京エレクトロンは2022年2月10日、2022年3月期第3四半期（2021年10月〜12月期）業績を発表した。全社売上高は5,064億円で、前年度同期比73.6％増、前期比5.4％増となった。営業利益は1,560億円で、前年度同期比2.5倍増、前期比17.5％増。純利益は1,100億円で、前年度同期比2.3倍増、前期比10.2％増となった。

事業別では、半導体製造装置事業（SPE）の売上高は4,888億円で、前年度同期比84.9％増、前期比4.5％増となった。営業利益は1,705億円で、前年度同期比2.5倍増、前期比11.4％増となった。サービス、パーツ、中古装置などのフィールドソリューション事業の売上高は1,133億円となった。

地域別売上高は、日本631億円、北米768億円、欧州170億円、韓国930億円、台湾874億円、中国1,322億円、東南アジア・他が189億円となった。
新規装置売上高（3,754億円）のアプリケーション別構成比率はファンドリを含むロジックが50％、不揮発メモリが19％、DRAMが31％となった。
FPD事業の売上高は176億円で、前年度同期比35.5％減、前期比39.7％増となった。営業利益は19億円で、前年度同期比29億円減、前四半期の7億円の赤字から黒字を回復した。

2022年通期の見通しは、全社売上高が前年度比39.4%増の1兆9,500億円、営業利益は同77.8％増の5,700億円、純利益は同71.3％増の4,160億円を予想している。
SPE事業の売上高は同43.7％増の1兆8,900億円、FPD事業の売上高は同28.3％減の600億円を予想している。