米Intel社と蘭ASML Holdings社は2022年1月19日、高NAのEUVリソグラフィシステムによる2025年の量産開始を目標に提携を強化することを発表した。IntelはASMLの高NA EUVリソグラフィシステム「TWINCAN EXE:5200」の初号機を発注した。EXE:5200はNAを0.55に高め（前機種は0.33）ながら、毎時200枚（300mmウエハ）の大量処理を実現している。
将来的に複数のノードを実現する目的で設計された0.55NA の「TWINCAN EXE:5200」は、2025年の業界初導入を目指しており、Intelで行うロジックだけでなく同等密度のメモリ技術も実現を目指す。装置価格は、1台3億4千万ドルにも上り、これまでの0.33NAのおよそ1.5倍にもなる。
ASMLは2021年のInvestor Dayで同社のEUVロードマップを公開し、高 NA テクノロジーによる量産対応を 2025年に開始できる見込みと発表しており、今回の発表は、このロードマップを着実にたどっていることを示している。