ASMLは、1月2日に同社のベルリン工場で発生した火災において、1月7日に最新のアップデートを発表した。アップデートによると、

・ASMLの計測・検査装置の出荷計画には、ベルリンで製造された部品は含まれておらず、影響は無い。

・DUV露光装置の部品製造は再開している。DUV露光装置用部材については、若干の混乱があったが、装置の生産／収益計画に影響を与えないように修復していく予定。

・EUV露光装置については、装置のモジュールであるウエハークランプの製造エリアで一部、火災の影響を受けた。現在、この生産エリアの復旧計画を完了し、顧客への影響を最小限に抑える方法を、生産計画およびフィールドサービスの両面で検討している段階。

今後、ASMLは2022年1月19日に発表される同社の第4四半期及び通期決算において、火災の影響のアップデートを発表する予定。